X射线光电子能谱仪（XPS） 主要用途： 1、固体样品的表面组成分析，化学状态分析，取样深度为～3nm； 2、元素成分的深度分析（角分辨方式和氩离子刻蚀方式）； 3、可进行样品的原位处理 分辨率：0.8cV；电子枪束斑：75nm；灵敏度：80KCPS；信噪比：大于70:1；角分辨：5°～90°；灵敏度：255KCPS A1/Mg双阳极a；能量分辨率：0.3%。
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